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  • 国内传感器技术要点发展方向

    发布时间:2013.12.30 新闻来源:WSS双金属温度计_WRN防爆热电偶_WB温度变送器-上海仪表集团供销有限公司 浏览次数:

    经过发展,我国传感器和仪器仪表的技术和产品有了较大的提高。全国已经有1600多家企事业单位从事传感器和仪表元器件的研制、开发、生产。但与国外相比,我国传感器和仪表元器件的产品品种和质量水平,尚不能满足国内市场的需求,总体水平还处于国外上世纪90年代初期的水平。
    经过发展,我国传感器和仪器仪表的技术和产品有了较大的提高。全国已经有1600多家企事业单位从事传感器和仪表元器件的研制、开发、生产。但与国外相比,我国传感器和仪表元器件的产品品种和质量水平,尚不能满足国内市场的需求,总体水平还处于国外上世纪90年代初期的水平。
    到2020年,我国传感器技术发展有以下几个要点:
      (1)MEMS工艺和新一代固态传感器微结构制造工艺:深反应离子刻蚀(DRIE)工艺或IGP工艺;封装工艺:如常温键合倒装焊接、无应力微薄结构封装、多芯片组装工艺;新型传感器:如用微硅电容传感器、微硅质量流量传感器、航空航天用动态传感器、微传感器,汽车专用压力、加速度传感器,环保用微化学传感器等。
      (2)集成工艺和多变量复合传感器微结构集成制造工艺;工业控制用多变量复合传感器,如:压力、静压、温度三变量传感器、气压、风力、温度、湿度四变量传感器,微硅复合应变压力传感器,陈列传感器。
      (3)智能化技术与智能传感器信号有线或无线探测、变换处理、逻辑判断、功能计算、双向通讯、自诊断等智能化技术;智能多变量传感器,智能电量传感器和各种智能传感器、变送器。
      (4)网络化技术和网络化传感器,使传感器具有工业化标准接口和协议功能。

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